9月6日，零部件本乡化新质生产力研讨会暨协同立异战略协作签约典礼在上海浦东成功举行。股份有限公司（以下简称凯世通）携手多家工业链企业达到战略协作，签约项目包含微波等离子体喷枪、静电吸盘资料、真空自动化

  据了解，凯世通联合国内顶尖的集成电路制作企业、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所，元禾璞华出资办理有限公司，以及很多国内集成电路零部件企业一起参加了此次盛会。通过签定战略协作协议，各方将联合推动技能立异和产学研协作，促进上游零部件企业一体化开展，然后协助下流用户处理本乡芯片制作的连续性应战。

  在上下流工业链的严密协作下，凯世通多个要害零部件项目已开花结果。其间，微波等离子体喷枪大多数都用在离子注入静电中和，相对于传统的灯丝型等离子体喷枪，可大大下降金属污染，然后进步芯片制作的良品率。这一零部件是满足以AI、HBM、传感器为代表的新质生产力芯片苛刻制作要求的要害。通过系列科技攻关与研制立异，凯世通已完成要害技能打破，产品测验功能体现优异，保护成本低，并已交付给客户进行产线验证。

  总裁兼旗下凯世通董事长李勇军表明，凯世通提前布局，现在已根本完成国产离子注入机供应链自主可控。

  凯世通副总经理、首席技能官夏世伟介绍，凯世通厚实推动离子注入机国产化作业，根据正向规划与协同立异理念，联合下流使用单位与上游零部件厂商严密协作，共同开发要害零部件，有序推动国产零部件的验证作业。

  一起，元禾璞华董事总经理陈瑜表明，凯世通以链主为桥梁将很多要害部件企业聚合在一起，不只有助于进步设备国产化率，还能加快工业立异、增强工业安全性、增厚新质生产力，为半导体工业协同晋级、自主可控供给了一个新的范式。